Перейти к основному содержанию

Микроэлектроника

LW405

MICROTECH (Италия)
Лазерный генератор изображений LW405

Установка LW405 предназначена для прямого формирования рисунков на подложках и диагностики поверхности в областях применения где разрешение достигает значения 0,8 мкм. Установка преобразует лазерный в луч в контролируемый инструмент для производства фотолитографических масок или же прямого формирования изображения на плоских подложках. Кроме этого, конструкция оптического узла установки позволяет производить и инспекцию поверхности, измерения и диагностику. Это дает возможность контроля полученных рисунков непосредственно сразу после их формирования на подложке.

Тележки с чистым воздухом

Тележки с чистым воздухом для транспортировки материалов

Данные шкафы разработаны специально для транспортировки чувствительных продуктов и материалов в условиях чистого помещения.
Установленная в них система фильтрации воздуха позволяет достигать чистоту до класса ИСО 3. При закрытой двери, данная чистота сохраняется некоторое время, даже при выключении вентиляторов.
При более длительном периоде без электропитания (например, при перемещении на большие расстояния), возможно, доукомплектовать систему резервными батареями, которые будут поддерживать работу вентиляторов.

Шкафы с чистым воздухом RLS и RLB

Шкафы с чистым воздухом и ящики с чистым воздухом

Данные шкафы разработаны специально для хранения чувствительных продуктов и материалов в условиях чистого помещения.
Установленная в них система фильтрации воздуха позволяет достигать чистоту до класса ИСО 3. При закрытой двери, данная чистота сохраняется некоторое время, даже при выключении венитяторов.

Технические характеристики и особенности:
- Рама из анодированного алюминия
- Панели из алюминия и нержавеющей стали.
- Электопитание: 220 В, 50 Гц.
- Замкнутая циркуляция воздуха
- HEPA-фильтры H14
- Пре-фильтр G3
- Уровень шума 43 дБ

Чистая зона с мягкими стенами

Чистая зона с мягкими стенами

Данный модуль предназначен для организации чистой зоны с классом чистоты до ИСО 7 (10 000).
Каркас изготовлен из анодированного алюминия, стены — пластифицированный ПВХ, потолок — вспененный ПВХ, белый.
Вместо двери полосы из пластифицированного ПВХ, ширина полосы — 200 мм, перекрытие 25%, антистатика.
Нижние части штор оборудованы отвесами, шторы легко крепятся к раме и имеют зазор от пола 200 мм.
Регулируемая скорость потока воздуха.
Возможно расширение при помощи дополнительных секций.
Внутренняя высота: 3м

Рабочее место RLAP

Рабочее место для проведения процессов в среде чистого воздуха

Данный модуль предназначен для организации чистой зоны с рабочим местом с классом чистоты до ИСО 5 (100).

Технические характеристики:
Каркас изготовлен из анодированного алюминия
2 фильтрующих модуля с фильтрами класса H14
Максимальный объём подачи чистого воздуха 2000 м³/ч
Уровень шума при потоку воздуха 0,45 м/с менее 58 дБ
Диапазон рабочих температур: +5..+40 ºC
Максимальная влажность 80%
Стол из нержавеющей стали
Высота столешницы: 900 мм
Рама из анодированного аллюминия
Боковые стены из калёного стекла

QuickStep

Solar-Semi (Германия)
Установки нанесения резиста серии QuickStep с технологией RccT

 Установки серии QuickStep предназначены для нанесения резиста, чистки пластин и проявления резиста. Уникальные запатентованные технологии позволяют достичь высокой однородности нанесения. А уникальная система крепления предотвращает загрязнения обратной стороны подложки.
 
 Особенности:
- Отсутствие турбулентности вокруг пластины во время проведения процесса.
- Управление через цветной сенсорный экран.
- USB и Ethernet интерфейсы для хранения программ.
- Части камеры из легкоочищаемых материалов.

SHB-150

SHINAPEX (Япония)
Полуавтоматическая установка ультразвуковой разварки толстой проволокой клином SHB-150

Установка SHB-150 – это ручная/полуавтоматическая установка разварки клином алюминиевых проволок большого диаметра от 100 мкм до 500 мкм.

Система  управления монтажным усилием с автоматическим контролем касания гарантирует постоянное монтажное усилие. Горизонтально расположенная система подачи проволоки позволяет оператору с легкостью заправить проволоку и обеспечивает её плавную подачу.

FJ520

Hesse&Knipps (Германия)
Автоматическая установка Flip-Chip монтажа ультразвуком FJ520

Большой опыт компании Hesse&Knipps GmbH в ультразвуковой технологии гарантирует оптимальное решение в процессе монтажа. FJ520 имеет особенные преимущества, особенно в тех приложениях, которые требуют высокую функциональность на и большой рабочей область.

Особенности установки:
- Не требуется процесс оплавления
- Монометалическое соединение, с шалом менее 20 мкм
- Интелектуальный контроль за процессом монтажа

Изделия для транспортировки и обработки полупроводниковых пластин

Epak (США)
Изделия для транспортировки и обработки полупроводниковых пластин

Кассеты eLX® для 150 мм, 200 мм и 300 мм пластин.
Стандартные кассеты для 120 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм пластин.
Контейнеры для 100 мм, 120 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм пластин.
Разделители пластин  (Tyvek®).
Пенопластовые упругие диски для использования с контейнерами и кассетами.
Прокладки из пенопласта для контейнеров.
Системы защиты пластины ePAD®*
Упаковочные материалы ePAD®* для складывания  пластин  в стопку.

Медная проволока

Heraeus (Германия)
Медная проволока

• Отличается хорошими механическими свойствами при разварке, особенно хорошо подходит для проведения шариковой/клиновой разварки.  Можно использовать и в процессе разварки клин/клин.
• Проволоку можно разваривать даже после полугодичного хранения на складе.
• Используют медную проволоку при изготовлении отдельных компонентов и при производстве полупроводниковых компонентов.